低溫壓電掃描臺是一種高精度、高穩(wěn)定性的精密定位設(shè)備,是一種利用壓電材料的逆壓電效應(yīng),在低溫環(huán)境下進(jìn)行精密定位與掃描的設(shè)備。它能夠在低溫、真空及磁場等*端條件下提供納米級的高精度定位和運(yùn)動控制,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、檢測、高精密測試和操作以及其他真空無磁要求的納米運(yùn)動控制等領(lǐng)域。
本公司提供的低溫壓電掃描臺Scanner16-xy的參數(shù):
1、緊湊的設(shè)計(jì),外形尺寸:16 * 16 * 7 mm
2、超高真空 & 極低溫兼容:2 E-11 mbar & 30 mK
3、無磁材料 純Ti & BeCu組成,兼容 35 Tesla磁場
4、高負(fù)載:100 g
5、行程@300 K:30*30 um
6、空間掃描達(dá)到 0.8 nm 分辨率
低溫壓電掃描臺在半導(dǎo)體加工、檢測、高精密測試和操作等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。例如,在半導(dǎo)體加工中,它可以實(shí)現(xiàn)納米級的精確切割和定位;在半導(dǎo)體檢測中,它可以提供高精度的掃描和測量;在高精密測試和操作中,它可以實(shí)現(xiàn)微小尺度的精密操控。