壓電掃描臺(tái)內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷,掃描臺(tái)的可靠性與穩(wěn)定性。
特點(diǎn):
1.壓電掃描臺(tái)具有非常高的定位精度,通??梢赃_(dá)到納米級(jí)甚至亞納米級(jí)。
2.由于壓電陶瓷的形變是由電場(chǎng)直接控制的,因此壓電掃描臺(tái)具有非常高的穩(wěn)定性,不易受外界干擾。
3.壓電陶瓷的形變速度非???,因此壓電掃描臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)高速掃描和定位。
4.壓電掃描臺(tái)通常采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)等無摩擦設(shè)計(jì),減少了機(jī)械磨損和摩擦噪聲。
應(yīng)用領(lǐng)域:
1.納米技術(shù):用于納米光刻、納米加工、納米測(cè)量等領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)微納米級(jí)的精確控制和定位。
2.光學(xué):在光學(xué)顯微鏡、光譜儀等設(shè)備中用于樣品的精確掃描和定位。
3.半導(dǎo)體:在半導(dǎo)體制造和測(cè)試中用于晶圓定位、芯片檢測(cè)等。
4.生物技術(shù):在生物顯微成像系統(tǒng)中用于細(xì)胞、組織等樣本的準(zhǔn)確掃描和定位。
壓電掃描臺(tái)是一種高精度的定位設(shè)備,在多個(gè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。在選擇和使用時(shí),需要充分了解其特點(diǎn)和應(yīng)用需求,以確保其發(fā)揮*佳性能。