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簡(jiǎn)要描述:LSxx.Lab 系列壓電光學(xué)位移臺(tái),光學(xué)傳感,兼容無磁高真空,納米級(jí)位置傳感。真正的納米精度位移臺(tái):步進(jìn)運(yùn)動(dòng)和超精細(xì)·位置實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)的深度融合– 無磁材料構(gòu)成,保證30 Tesla 磁場(chǎng)可用 .NM– 超高真空兼容材料構(gòu)成,保證 2E-11 mbar 兼容 .UHV
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ARTICLES詳細(xì)介紹
LSxx.Lab 系列·線性位移臺(tái)
• 超安靜運(yùn)動(dòng),20 kHz驅(qū)動(dòng)頻率
• 極緊湊外形設(shè)計(jì),分為35mm和 65mm 兩類
• 閉環(huán)控制·位置傳感支持光學(xué)型
• 高精度·空間傳感分辨率2 nm(默認(rèn)), 0.5 nm(.adv), 50 nm(.E)可選;
• 最小步伐優(yōu)于 10 nm;
• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件;
• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺(tái),搖擺臺(tái);
• 支持無磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)選件;
LS35x.Lab 兼顧尺寸和性能的選擇 35mm × 35mm × 12mm
LS65x.Lab 手動(dòng)·光學(xué)位移臺(tái)的替代 65mm × 65mm × 13mm
LS35z.Lab z方向500 g, 能負(fù)重&能遠(yuǎn)行 35mm × 35mm × 41mm
LS65z.Lab z方向500 g, 直驅(qū)垂直運(yùn)動(dòng),低厚度,省空間 65mm × 65mm × 44mm
壓電線性位移臺(tái),光學(xué)傳感,兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù):
LS35x.Lab
LS65x.Lab
LS35z.Lab
LS65z.Lab
壓電線性位移臺(tái),光學(xué)傳感,兼容無磁高真空——尺寸圖:
LS35x.Lab
LS65x.Lab
LS35z.Lab
LS65z.Lab
LS65z.Lab.LR
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