簡要描述:Sxxx.Z.C,壓電升降掃描臺,Z軸掃描運動 緊湊型 “S 系列“ 標準版系,Z 方向大行程
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壓電·單維掃描運動 Sxxx.Z.C
? 緊湊型單軸Z軸方向運動,電容位置閉環(huán)控制
• Z 方向運動范圍 100-300 um;
• 外形尺寸,40 mm x 40 mm x 18 mm;
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于1 nm (開環(huán)版本可選);
• 最大負載 500 g;
• 支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級;
壓電升降掃描臺,Z軸掃描運動——詳細參數:
壓電升降掃描臺,Z軸掃描運動——尺寸圖:
多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含:
S —— 掃描標準系列;
SD —— 高動態(tài)系列;
SH —— 高負載系列。
S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景,支持電容閉環(huán)傳感,可選無磁/高真空/超高真空選件升級。
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