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簡要描述:SH30.xyz.C,XYZ三維壓電掃描臺,高負(fù)載,兼容高真空緊湊型 “SH 系列“ 高負(fù)載系列
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壓電·三維掃描運動 SH30.xyz.C
? 針對精密光學(xué)、半導(dǎo)體表征等“3自由度掃描運動"需求的定制解決方案
• 三維度XY掃描運動 30 um x 30 um x 15 um;
• 外形尺寸,160 mm x 160 mm x 35 mm;
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 0.3 nm;
• 最大負(fù)載10 kg;
• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級;
XYZ三維壓電掃描臺,高負(fù)載,兼容高真空——詳細(xì)參數(shù):
XYZ三維壓電掃描臺,高負(fù)載,兼容高真空——尺寸圖:
多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含:
S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列;
SD —— 高動態(tài)系列;
SH —— 高負(fù)載系列。
S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應(yīng)用場景,支持電容閉環(huán)傳感,可選無磁/高真空/超高真空選件升級。
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