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簡(jiǎn)要描述:Carrier.Lxxxx.XY,壓電載物臺(tái),大行程高負(fù)載,兼容無(wú)磁高真空“Carrier. 系列“ 大行程載物臺(tái) — 精密光學(xué),半導(dǎo)體表征
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壓電載物臺(tái)·閉環(huán) Carrier.Lxxxx.XY
? 針對(duì)載物臺(tái)“大行程·高精度·重負(fù)載"需求的定制化解決方案
Carrier.L7550XY
• XY方向行程 75 mm × 50 mm;
• 最小步伐約 5 nm;
• 最高速度 20 mm/s;
• 位置傳感器分辨率:1 nm;
• 全行程運(yùn)動(dòng)中,保證通孔 85 mm × 65 mm;
• ?持無(wú)磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV);
• 主體鋁合金 (硬質(zhì)氧化發(fā)黑);
Carrier.L1010XY
• XY方向行程 100 mm × 100 mm;
• 最小步伐約 5 nm;
• 最高速度 10 mm/s;
• 位置傳感器分辨率:1 nm;
• 全行程運(yùn)動(dòng)中,保證通孔 85 mm × 65 mm;
• ?持無(wú)磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV);
• 主體鋁合金 (硬質(zhì)氧化發(fā)黑);
壓電載物臺(tái),大行程高負(fù)載,兼容無(wú)磁高真空——詳細(xì)參數(shù):
壓電載物臺(tái),大行程高負(fù)載,兼容無(wú)磁高真空——尺寸圖:
Carrier.L7550.XY
Carrier.L1010.XY
多場(chǎng)科技致力于全環(huán)境壓電超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)以及產(chǎn)品的開發(fā)與推廣。得益于公司在“強(qiáng)磁場(chǎng)、超高真空和極低溫環(huán)境"環(huán)境領(lǐng)域下長(zhǎng)期的探索與積累,多場(chǎng)科技已形成了全環(huán)境納米運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品集群,成為國(guó)際上為數(shù)不多的,可以提供全環(huán)境下的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制解決方案的團(tuán)隊(duì)。
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