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簡要描述:Free6D.3-2.150.G2,壓電六軸并聯(lián)位移臺(tái),六自由度,兼容高真空;控制方式:各驅(qū)動(dòng)單元模塊通過光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制;通過專用軟件,實(shí)現(xiàn)對(duì)六軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)的解算,分配到各驅(qū)動(dòng)單元模塊,實(shí)現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時(shí)調(diào)節(jié)。
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壓電·六軸并聯(lián) Free6D.3-2.150.G2
? 多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高
• 由納米級(jí)驅(qū)動(dòng)單元實(shí)現(xiàn)的六自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu),有效降低累積誤差;
• 多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高;
• 平動(dòng)行程:X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm;
• 角擺行程:ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °;
• 最小步伐:0.1 μm/5 μrad;
• 可提供真空環(huán)境規(guī)格;
• 控制器:根據(jù)用戶輸?的位移指令,實(shí)現(xiàn)對(duì)位移臺(tái)六軸空間姿態(tài)的運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié)
• 控制方式:各驅(qū)動(dòng)單元模塊通過光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制;通過專用軟件,實(shí)現(xiàn)對(duì)六軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)的解算,分配到各驅(qū)動(dòng)單元模塊,實(shí)現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時(shí)調(diào)節(jié);
• 控制軟件:提供PC端使用軟件,支持labview,串口命令集控制
壓電六軸并聯(lián)位移臺(tái),六自由度,兼容高真空——詳細(xì)參數(shù):
壓電六軸并聯(lián)位移臺(tái),六自由度,兼容高真空——尺寸圖:
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